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潔凈實(shí)驗(yàn)室作為科學(xué)研究、產(chǎn)量?jī)?yōu)化、安全保障和質(zhì)量控制的重要組成部分,在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)領(lǐng)域和制造過程中越來越重要。相關(guān)單位在設(shè)計(jì)和建設(shè)潔凈實(shí)驗(yàn)室的時(shí)候,應(yīng)充分考慮其潛在危險(xiǎn)性,并以此作為潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)建設(shè)時(shí)考慮的重要因素。
一、我國(guó)實(shí)驗(yàn)室潔凈工程的發(fā)展趨勢(shì)
目前,我國(guó)實(shí)驗(yàn)室潔凈工程的市場(chǎng)需求正在往節(jié)能方向發(fā)展。畢竟?jié)崈艄こ滔騺矶际呛哪艽髴簦瑩?jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)顯示,其耗能比普通寫字樓高10-20倍。與同類型工程對(duì)比,我國(guó)潔凈工程耗能也比美國(guó)高出15%。以電子類實(shí)驗(yàn)室潔凈工程為例,其全年耗電量的46%用于潔凈工程的運(yùn)行與維護(hù)。將近總耗電量的一般,這的確是個(gè)可怕的數(shù)字??梢?,對(duì)于企業(yè)來說,能耗的降低就意味著成本的節(jié)約,所以說市場(chǎng)需求正在往節(jié)能方向發(fā)展。
目前,我國(guó)實(shí)驗(yàn)室潔凈工程的技術(shù)走勢(shì)正在往空氣分子控制等高科技工程技術(shù)發(fā)展。最早提出該技術(shù)的是日本,不過眼下全世界都在關(guān)注??諝夥肿涌刂浦饕獞?yīng)對(duì)空氣分子污染(AMC),這類污染的控制要比粒子污染困難許多。說到粒子污染的控制,先要確定粒子的粒徑與個(gè)數(shù),然后才能進(jìn)行相應(yīng)的設(shè)計(jì)。只是對(duì)于空氣分子污染,需要控制的除了芯片線寬外,還有工藝、設(shè)備、材料與傳送系統(tǒng)等,所以這類污染的控制一直就是業(yè)界的難題。
總體上來說,正是因?yàn)楹茈y有效控制空氣分子污染,致使該問題成為了影響相關(guān)產(chǎn)品成品率的重要問題,而空氣分子控制技術(shù)也受到了國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室潔凈工程行業(yè)的重視。眼下,相關(guān)企業(yè)與技術(shù)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)開始從事此方向的研究。
二、潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)類型
1. 湍流通風(fēng)潔凈室:在這種潔凈室設(shè)計(jì)中,房間通過天花板上的空氣擴(kuò)散器接收清潔的過濾空氣,與室內(nèi)空氣混合,然后由人和機(jī)器產(chǎn)生的空氣污染物被墻壁底部的空氣凈化裝置清除。
2. 單向流潔凈室:在這種潔凈室設(shè)計(jì)中,高效過濾器安裝在整個(gè)天花板或墻壁上,為房間提供空氣。以單向方式掃過房間,它從地板上流出,清除房間內(nèi)的空氣污染物。
這兩種類型的房間都使用了空氣凈化裝置,在有潔凈需要的局部區(qū)域(比如工作流程中最容易受到污染的區(qū)域)提供過濾空氣。
三、潔凈實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)要求
潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)時(shí),預(yù)先考慮和計(jì)算好機(jī)械設(shè)備占用面積很重要,在設(shè)計(jì)階段,要秉持靈活性原則,為未來發(fā)展需要做好準(zhǔn)備,這樣的實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)方案更利于進(jìn)一步的擴(kuò)張和修改,以及添加新設(shè)備和工具。
1. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求墻壁管道系統(tǒng)可容納較多的管道、電力設(shè)施。
2. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求氣閘能幫助最小化和防止可能影響工作流程的壓力變化。因?yàn)闈崈羰覂?nèi)可能存在大量灰塵、污垢顆粒、有害化學(xué)物質(zhì)和其他污染物等。
3. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求在可能的情況下更換絕緣材料并在必要時(shí)安裝電力技術(shù)。讓潔凈室管理人員進(jìn)行靜態(tài)審核以識(shí)別潛在問題以及可能導(dǎo)致問題的原因非常重要。
4. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求做好溫濕度控制,因?yàn)闈崈羰覍?shí)驗(yàn)需要控制溫濕度以防止腐蝕、防止工作面冷凝,并減少放電。
5. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求給潔凈室加壓,使?jié)崈羰冶3衷诖髿鈮旱撵o壓下,并設(shè)置空氣壓力梯度,使空氣從清潔區(qū)域向非清潔區(qū)域流動(dòng)。(注:正壓差在一種情況下有所例外:即蒸鍍機(jī)構(gòu)在處理某些有害物質(zhì)時(shí)要求房間處于負(fù)壓)。
6. 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求必須安裝HEPA過濾器,這對(duì)于控制污染至關(guān)重要。