隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求，工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。在上一次的凈化車間裝修設(shè)計案例分享里，為大家詳析了半導(dǎo)體凈化車間裝修設(shè)計：結(jié)構(gòu)維護(hù)、暖通、特種氣體、空壓...接下來CEIDI將為您詳解電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程。

六、半導(dǎo)體凈化車間廢氣工程

由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求特別高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中會發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

生產(chǎn)廢氣排放源及組成表

對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。

對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。

七、半導(dǎo)體凈化車間電氣工程

空調(diào)動力電工程：統(tǒng)計總用電量約830KW，空調(diào)用電約330KW。

動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。

八、半導(dǎo)體凈化車間弱電系統(tǒng)工程

高清視頻監(jiān)控系統(tǒng)空調(diào)動力電工程：統(tǒng)計總用電量約830KW，空調(diào)用電約330KW。

動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設(shè)，再分至車間及設(shè)備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。

九、半導(dǎo)體凈化車間智能平臺

潔凈系統(tǒng)中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門，實時監(jiān)控流量及狀態(tài)，可在線診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。中控室中把空調(diào)、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲存，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行打印輸出及溯源查找。并經(jīng)設(shè)備輸出在參觀通道播放，方便參觀。

十、半導(dǎo)體凈化車間純水工程

設(shè)備產(chǎn)水能力：

RO系統(tǒng)：一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時）；二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時）；

EDI系統(tǒng)：EDI產(chǎn)水量≥5m3/h（水溫在25℃時）；

終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥5m3/H（水溫保證在25℃時）；

設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)指標(biāo)：

終端拋光混床產(chǎn)水水質(zhì)為：≥18.0MΩ.cm（水溫保證在25℃時，測點在拋光混床出口3米內(nèi)，95%時間）

其它技術(shù)指標(biāo)參照我國的電子級水的技術(shù)指標(biāo)（GB11446.1-1977）EW-1

由于設(shè)備用水的級別各不相同，可以在本設(shè)計流程中的某段引出合適的使用點即可。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)（因金屬管道會析出離子），特別對于圓晶的生產(chǎn)，超純水會對額定的離子限值嚴(yán)格，所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證。

十一、半導(dǎo)體凈化車間廢水處理工程

半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生，主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。

⑴酸堿廢水

對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi)，時間間歇性強。在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前，必須進(jìn)行中和，使廢水pH值達(dá)到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%~5%的廢水，應(yīng)首先考慮其回收。

⑵含氟廢水

含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法，即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀，然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。

⑶有機廢水

依靠物理法、化學(xué)法很難處理有機廢水，通常采用生化法處理。

⑷金屬廢水

金屬廢水的處理主要用化學(xué)沉淀法，廢水中含有危害性很大的一些重金屬和某些類金屬（如砷）。