百級無塵車間設(shè)計裝修最主要的作用就是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫度、濕度，使產(chǎn)品能夠在一個很好的環(huán)境內(nèi)生產(chǎn)和制造。

一、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級的潔凈度區(qū)別

市場上比較常見的無塵車間潔凈度級別有百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級。百級、千級、萬級定義是單位立方英尺空氣中含有的直徑不小于0.5μm的塵埃粒子個數(shù)分別不大于100個、1000個、10000個。百級、千級、萬級無塵車間的最主要的區(qū)別，就在于空氣中各粒徑檔最大容許粒子濃度不一樣。

1. 百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520（pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。

2. 千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。

3. 萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。

也就是說百千萬是只灰塵數(shù)量，自然的級別數(shù)值越小，等級越高。百級無塵車間已經(jīng)是凈化級別里邊凈化指數(shù)很高，各項(xiàng)技術(shù)很高的凈化空間。

二、無塵車間設(shè)計裝修工作原理：

采用垂直單向流的氣流形式,送風(fēng)先要通過初效過濾器進(jìn)行預(yù)過濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經(jīng)過預(yù)處理后的空氣，再經(jīng)過高效過濾器進(jìn)行二次過濾，以起到充分保護(hù)高效過濾器的作用。在離心風(fēng)機(jī)提供的壓力下，通過高效過濾器，使之達(dá)到潔凈要求。所有氣流均經(jīng)過高效過濾器處理，所以送風(fēng)，排風(fēng)均不帶殘余粉塵，避免了二次污染。由于在工作區(qū)域形成穩(wěn)定的單向流，起到保護(hù)外部環(huán)境的作用。

三、百級無塵車間設(shè)計裝修標(biāo)準(zhǔn)

按照國際上的慣例，無塵車間設(shè)計裝修的潔凈級別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來規(guī)定的。也就是把微?？刂圃谝粋€非常小的單位上，在常規(guī)當(dāng)中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當(dāng)中是小的微乎其微，而對于那些生產(chǎn)上來說，哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的，很少很少的灰塵也會產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的。國際上百級無塵車間設(shè)計裝修的標(biāo)準(zhǔn)的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下。

當(dāng)前，在芯片生產(chǎn)加工上的無塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于A級的，像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級較高芯片生產(chǎn)上，而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)。

四、百級凈化車間設(shè)計參數(shù)

1. 溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。

2. 百級無塵車間若非得用換氣次數(shù)來衡量的話200次/h以上，百級無塵車間若是以層流風(fēng)速來說的話>0.35 m/s，

3. 百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。

五、百級無塵車間設(shè)計裝修后的人員進(jìn)出規(guī)范

百級無塵車間設(shè)計裝修進(jìn)入過濾器無塵車間人員必須穿著無塵服與無塵鞋，并嚴(yán)格按以下順序進(jìn)入過濾器無塵車間：

1、戴上無塵帽(頭發(fā)不可露出)。

2、戴上無塵口罩。

3、穿著無塵衣(拉上拉鏈后，扣好頸部頭罩)。

4、穿上無塵鞋。

5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。

6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。

7、進(jìn)入風(fēng)淋室。

8、進(jìn)入ZC風(fēng)淋室雙門互鎖后自動吹淋，聽從風(fēng)淋室語音提示，擺動身體，吹凈時間15秒。

9、在過濾器無塵車間設(shè)計裝修后，動作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。

10、工廠稽查小組對過濾器無塵車間潔凈紀(jì)律，每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。