為了滿足一些對質(zhì)控要求高的工業(yè)車間生產(chǎn)環(huán)境，很多企業(yè)選擇建設(shè)無塵車間。精密制造工業(yè)以半導(dǎo)體、晶片、集成電路等制造工藝的需求設(shè)置無塵室，業(yè)內(nèi)也叫超凈間。這種無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，這些制造品類的無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。>>>商務(wù)洽談，點此處，在線咨詢

半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間的建設(shè)專業(yè)度高且程序復(fù)雜，要打造真正意義上滿足標準且適合工藝流程的超凈間包含多種專業(yè)維度的建設(shè)內(nèi)容。譬如：建筑構(gòu)造、內(nèi)部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統(tǒng)建設(shè)、自控系統(tǒng)建設(shè)、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等。這些內(nèi)容每一個維度都關(guān)系著該車間目標控制標準的達成。那么有人就會問了，這么多內(nèi)容那得找多少不同技術(shù)領(lǐng)域的團隊來建設(shè)，在銜接管理上豈不是相當(dāng)麻煩。沒錯，半導(dǎo)體超凈間涉及的技術(shù)領(lǐng)域多，如果甲方一個類別一個類別去尋找、對接、篩選分包商，確實是耗時又耗力。這個時候，選擇與潔凈工程領(lǐng)域的EPC集成服務(wù)商合作，這些問題就可以迎刃而解了。CEIDI西遞這類潔凈工程EPC（工程總承包）集成服務(wù)商通常會承擔(dān)從潔凈工程的整體規(guī)劃開始，到內(nèi)部平面設(shè)計、各類技術(shù)方案、施工建設(shè)及過程監(jiān)控、實驗家具及內(nèi)部配套工程一體化的集成服務(wù)整體解決方案。

因為電子工業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜，我們摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中，暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述。

半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計要點：

1.半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間多以萬級（局部百級）為設(shè)計目的。要達到這樣的標準，就必須選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器，對進入無塵車間的空氣，進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。

2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外，還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

3.要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風(fēng)設(shè)備，達到足夠的送風(fēng)量，以達到可以稀釋空氣的含塵濃度，又能保證有穩(wěn)定氣流流型的目的。

半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計要點：

在工藝技術(shù)較為先進的半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過程中，工藝步驟達幾百道，前后要使用幾十種不同種類的氣體。CEIDI西遞在設(shè)計電子工業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】過程中會依據(jù)行業(yè)特色和自身經(jīng)驗判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導(dǎo)體超凈車間，會推薦采用外購氣體鋼瓶或鋼瓶組來輸送供氣，有易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類特種氣體需求的，選擇這種方式會節(jié)省投資，且擁有使用方式靈活的優(yōu)點，電耗及制氣成本相對也比較低廉。缺點是在氣體輸送的過程中氣體比較容易受到污染，對后期就整個供應(yīng)系統(tǒng)的管理和維護要求較高。不過這對合作方是CEIDI西遞這類總包服務(wù)商來說，基本上后續(xù)維護質(zhì)量等問題無需擔(dān)憂。

在半導(dǎo)體、晶片、集成電路這類電子工業(yè)超凈間建設(shè)過程中，因為工藝復(fù)雜對環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布，將噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，需要平面設(shè)計師和各技術(shù)段工程師非常精密的計算與合作，CEIDI西遞EPC集成服務(wù)商的集成服務(wù)優(yōu)勢在這里可以比較明顯的體現(xiàn)出來。設(shè)計團隊、技術(shù)團隊和項目施工團隊已經(jīng)過多年磨合，對工程建設(shè)的理念和進度配合都達成比較一致的思維，往往能在保質(zhì)保量地完成工程建設(shè)的同時，將節(jié)能與實用性做充分的融合。

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